KTL1700高真空管式炉

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产品摘要:

KTL1700 高真空管式炉为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,最高温度可达1700度。


产品描述

KTL1700 高真空管式炉详细介绍:
 

      KTL1700 高真空管式炉以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端 能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10 -3  Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。


1、可与电脑连接
 
       软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。(选购)
 


 

      密封系统:该炉法兰采用双重硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。


      真空系统:分子泵机组。


      炉膛材料:采用氧化铝纤维炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。 


      加热元件:采用Dia14mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低,使用使用长。


      漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。


      供气系统:该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速(详细请查看选件)。


      法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

 

KTL1700 高真空管式炉技术参数:


型号功率炉管尺寸外形尺寸(LXDXH)电源电压
KTL1700-C-I5KW直径 60(OD)X1000mm6100X490X800220V/380V
KTL1700-C-II5KW直径80(OD)X1000mm610X490X800220V/380V
KTL1700-C-III5KW直径100(OD)X1000mm610X550X850220V/380V

 

相数:单相


加热元件:1800型钼棒


真空炉管内真空度 : 8X10 -4


控制方式:2台仪表各自控制     采用宇电程序控温仪表


(1)30段程序控温只能PID调节。


(2)、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。


(3)带有485通讯接口(选购软件时标配)


(4)、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。


(5)仪表具有温度自整定的功能



 
FP93控温仪表(日本岛电)(更换进口仪表,需要另外付费)
 
(1)、40段程序控温可以分成4、2、1组程序,如果分成4组程序,每条程序为10段,
 
(2)、6组PID控制,低,中,高温可以各用一组PID,这样每个温度段都能够控制得很准确。
 
(3)、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。
 
(4)、仪表有华氏度(F)和摄氏度(C)可供选择
 
(5)、带有485通讯接口(选购软件时标配)
 
(6)、具有自动停机功能
 
(7)、可以储存多组程序,使用时可以任意调出。
 
(8)、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
 
(9)、仪表上有输出功率、程序执行的段数和执行时间、程序处于升温、恒温、降温状态的显示。
 
(10)、仪表具有跳步功能(即仪表可以跳个这一步直接执行下一步。
 
(11)、仪表具有温度自整定的功能。




控温模式:智能PID
 
断偶保护和显示:有
 
 过温保护:有
 
过流保护:有
 
2、炉膛材料:



 
 
控制精度:+/- 1℃
 
触发器:移相触发
 
电器:浙江正泰
 
可控硅:106 / 16E德国西门康
 
最高温度:1400℃                                  
 
额定温度:1350℃                                
 
升温速率:≤20℃/分钟(可根据要求修改)
 
推荐升温速率:≤10℃/分
 
热电偶型号:S型    
 
加热段长度: 300毫米
 
日本岛电FP93仪表与电脑连接控制和记录软件(选购)
 
COM变USB接口   电脑与炉子连接的数据线   
 
 
3、真空法兰:



   
4、电器认证


 
 
四周表面温度:≤45℃
 
单温区CVD系统详细技术参数:
 
分子泵机组



 
 
机组输入电压:380V / 220V     波纹管:KF40X1000     真空挡板阀:KF40     机箱尺寸:600X600X600
 
分子泵(方案一)
 
分子泵型号:FJ620     电压: 380V     分子泵进气口法兰: DN160     分子泵抽气速率L / S(对空气): 600
 
分子泵极限压强(PA):6×10 -7     冷却方式: 水冷     冷却水压(MPa): 0.1-0.2     冷却水温度:<25℃
 
环境温度:0-40℃     建议启东压强:<100pa时
 
 
前机真空泵RVP-6(方案一)
 
功率:0.75KW   电压:380V  转速:1450rpm  进气口径:KF25/KF40


前机泵抽气速率(L/S):6  极限压强:4X10 -2Pa

 
德国普发真空泵(方案二)
 
电压:220V  功率:110W  极限真空度(在无泄露时):<1E-8 mbar

抽气接口:KF40  重量:150KG  前机泵抽速:0.9m 3/ h  抽气速率(N2):33L/S

 
复合真空计
 
复合真空计型号:ZDF   电源:220V   55W  控制精度:± 1% 


真空计测量范围:10-5 -10 5 Pa

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